二手 VARIAN 3290 #9245003 待售

VARIAN 3290是由VARIAN Semiconductor設計的最先進的濺射設備。能夠為微電子工業生產優質材料。3290設計用於在真空環境中將材料薄膜沈積在半導體晶片上。它配備了單或雙濺射源、可變電源、離子蝕刻源、高真空泵送系統，以提供全面的真空過程解決方案。VARIAN 3290利用電子回旋共振（ECR）實現材料的高速率均勻沈積。ECR方法可以更好地控制沈積材料的速率、厚度和均勻性,從而提高性能。該裝置還提供幹法和濕法，濕法由幾種等離子體蝕刻組成，在材料上形成高分辨率層。3290具有安全方便的幾個特點，包括內置硬件監控機、真空計端口和可調節高度平臺。此外,VARIAN 3290還包括一個自動化的過程控制工具,可用於實時識別和排除與過程相關的問題。運算符還可以為每個作業自定義工藝參數,如速率、沈積時間和沈積厚度,以確保獲得最佳結果。3290是一種可靠且成本效益高的濺射資產,它對沈積材料的速率和均勻性提供了無與倫比的控制。它具有多種安全和方便的功能,其高度自動化的過程控制模型使您能夠輕松排除任何與過程相關的問題。VARIAN 3290設計用於半導體晶片上的高質量沈積，在微電子工業中產生更高的產率和提高的性能。