二手 VARIAN 3290 #9255392 待售

VARIAN 3290是一種主要用於生產微電子的濺射設備。它是一個緊湊的、集成的系統，能夠執行各種工藝，如氮化全新、二氧化矽、銅、低溫聚矽的沈積，以及正負RIE（反應性離子蝕刻）等蝕刻工藝。3290比其他濺射系統有幾個優點，例如它的小、緊湊的尺寸和大的真空室。它設計用於在從簡單的2 "x 2"到6"晶圓大小的一系列基板上運行。VARIAN 3290的特點使它具有執行各種濺射任務的多功能能力。它具有調整濺射過程速度的能力，以匹配被沈積基板的大小和復雜性。它還具有各種不同的濺射目標，允許不同的沈積材料和蝕刻過程。有可根據濺射類型操作的直流或射頻（RF）電源的選擇。還可以對這些電源進行編程,以調整RF的電壓範圍從0-5 kV到DC的0-3kV,從而實現對濺射過程的精確控制。3290配備了該過程的全面信號控制。它有幾個數字顯示，如壓力讀出，溫度和電壓水平指示，磁壓信息，和腔室溫度。該單元還具有內置的線性編碼器，用於監視濺射目標的線性運動。它還可以連接到個人計算機進行數據采集和編程。總體而言，VARIAN 3290是一種高效的濺射塗料機器。它是一種符合人體工程學的工具，與其他濺射系統相比，它占用的空間要少得多。其可調參數範圍可用於制造一致、高質量的濺射塗層。此外，3290適用於低溫、小型化電子，以及先進微系統的發展。VARIAN 3290具有精確的步進電機控制和易於操作，是研究和生產工作的理想緊湊型濺射資產。