二手 VARIAN 3290 #9257985 待售

VARIAN 3290是一種高通量濺射設備，設計用於在一系列基板表面快速和精確地沈積薄膜。這種沈積工藝具有多種優點，包括金屬沈積速率高，金屬層附著力改善，零件的電學和光學性能改善。3290使用磁控管濺射技術將納米層材料沈積在基板上。該系統能夠加工200毫米方形的基材和各種材料，包括不銹鋼、鋁、鎢、鈦、銅、鉻、鈷、鎳和金。VARIAN 3290有一個在1到6E-3 Torr範圍內運行的真空室，允許以最小的汙染直接沈積過程。射頻和直流磁控管濺射是可用的，可以通過觸摸屏界面控制。濺射槍由圓柱形磁鐵組成，在腔內產生高密度、均勻的等離子體。基板由旋轉臺保持在腔室內；沈積速率通過調節旋轉速度和磁體產生的磁場來控制。一種稀有的氣體，例如氙氣，可以以5至120 sccm的速率輔助過程。3290使用機械泵或冷凍泵維持室內真空。該單元還具有自動化的可編程控制功能,允許每次重復精確的過程。可以通過具有自動傾斜能力的圖像監視器和自動操縱器監視該過程。VARIAN 3290提供精確的層厚度控制,最小精度為10埃。此外，每次運行最多10層的均勻和化學計量沈積是可以實現的。本機本質上是薄膜沈積的完整工藝解決方案，每次都提供可靠、可重復的結果。