二手 VARIAN 3290 #9273814 待售
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已售出
ID: 9273814
Sputtering system, 6"
With PC
(3) Process modules
AC Rack
Compressor
Particle reduction option
Water pump option
CTI 8F Cryo pump
Utility box
Power supply type: 12kW (Gen1)
RF Bias option
DC Bias with heater
EUROTHERM Heater controller
FLUKE 1722, 1722A / KESA Controller
Controllers:
FLUKE 1722A with floppy diskette
Wafer Load Controller (WLC)
Wafer Process Controller (WPC)
ARGON MKS-250B Controller
Wafer Heater Controller (WHC)
EUROTHERM Heater controller
Thin film monitor
Thermocouple gauge control
Interlock and interface chassis
Vacuum system control
Ion gauge control
Cryo temperature monitor
Power distribution chassis
Low voltage power supply
Master interconnect
RF Etch monitor
Phase mag discriminator
Electrical utility box
Mechanical utility box
Wafer handler utility box
DC Power supplies: 12kW
RF Generator IKW: RFPP RF-10
Bias option heater block
Mechanical pump
CTI Cryo pump and compressor
Coaxial feedthrouh type
HI-Vac valve
Source power meter
Cassette motor controller
RF Matching controller
Wafer handler assy
No loadlock turbo control
No VIPS turbo controller
Metal cassette missing.
VARIAN 3290是由VARIAN公司設計開發的濺射設備。這種最先進的系統可以精確控制薄膜沈積過程。它具有良好的材料沈積精度和良好的清潔過程控制.3290單元為三部分單元。材料源模塊是金屬、合金和氧化物等材料以預定速率送入機器的位置。一旦物料被送入物料來源，這個過程就發生在加熱的腔室內，基板被放置在那裏。第三部分，電源模塊，提供了一個可調節的射頻信號，它在基板和材料之間產生相互作用，最終在基板上形成所需材料的薄膜。該工具提供了對沈積過程的高度控制，這包括多個操作頻率、溫度控制和可調流量。這種高度的控制和精度是通過創新的電源技術、精確的磁場度量以及脈沖等離子體增強濺射技術實現的。此外,該資產還具有直觀且用戶友好的界面,可以控制模型的設置參數並實時監控參數。該設備配備了多種不同的安全功能，如系統內安全停止按鈕以及自動超壓保護裝置。這些安全功能旨在確保機器的安全運行，同時也確保受影響材料的完整性。這確保了所沈積材料的質量。該工具是市場上最可靠、最先進的濺射資產之一。它也是最方便用戶的系統之一，使得在不同的用例中易於學習和隨後利用。VARIAN 3290適用於許多不同的薄膜沈積和利用應用，為廣泛的行業提供了質量最高的光學塗層、薄膜等等。該模型將使任何實驗室更接近先進的薄膜沈積，並將創造更大的競爭優勢。
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