二手 VARIAN 3290 #9375148 待售

VARIAN 3290是為各種沈積應用而設計的濺射設備。它利用RF和直流濺射電源的組合等特性，在基板上實現高度保形和均勻的薄膜塗層。該系統還具有平面和可旋轉的濺射目標，使一個或多個材料層能夠高比例地沈積在基板上。3290配備了高真空泵和氣體減排系統，能夠實現高速增長和沈積過程。此外，該單元設計緊湊，可在方便用戶和符合人體工程學的工作場所進行小面積的足跡操作。VARIAN 3290具有計算機控制的基於頻率的濺射電源控制機,可實現任何過程的最大沈積速率。該工具還包含可調節的渦輪濺射資產，可用於射頻和直流濺射沈積。該型號配備了電磁濺射快門控制功能，可以讓用戶精確控制濺射功率和沈積速率。此外，該設備還具有直觀的數字惰性氣體噴射系統，能夠精確控制沈積過程。3290還利用先進的濺射氣體裝置，能夠精確控制濺射流量和基板溫度。該機包括一個閉環溫度控制工具，能夠精確的溫度控制基板表面。此外,資產還包含動態壓力控制功能,可以對其進行調整,為所需的塗層速率提供正確的壓力控制。VARIAN 3290提供了單位面積比任何其他可比系統最高的濺射濃度。3290是現有最先進的濺射系統之一，可用於高度保形和均勻的薄膜沈積過程。該模型利用廣泛的濺射電源來控制各種參數，如基板溫度和表面壓力。此外，該設備還配備了可調節的渦輪噴射系統和基於頻率的噴射功率控制裝置，以及直觀的惰性氣體噴射機。該工具還包含動態壓力控制功能,以確保達到所需的塗層速率。