二手 VARIAN 3290 #9376019 待售
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VARIAN 3290是一種高端濺射設備,設計用於先進的薄膜沈積工藝。它利用直徑可達5英寸的可轉動基板,允許在任何給定方向上精確均勻的薄膜沈積。它經常被用於先進的研發應用,例如沈積砷化的薄膜,因為它提供了比傳統系統更好的控制範圍。3290具有一系列功能,使其成為高端濺射應用的完美系統。它具有四個獨立可控的陰極電源和一個簡單的軟件用戶界面。這使用戶可以輕松編程濺射各種薄膜材料所需的所有參數,包括鋁、銅、鈦等。其高度精確的控制也讓它可以濺射薄至0.1微米的薄膜。VARIAN 3290還配備了多項安全功能,以防止事故發生。它裝有真空互鎖裝置,如果發生真空泄漏,該裝置將關閉機器。此外,它還具有固有的電弧抑制作用,防止電流電弧形成和損壞薄膜。3290還配備了一臺機載計算機,可以方便地分析和處理從濺射過程中獲得的數據。這有助於提高薄膜濺射過程的精度和重復性。它還提供了存儲濺射程序的能力,使用戶可以輕松重復薄膜沈積過程,而無需每次配置相同的參數。多功能性、功能範圍、安全系統和精確控制使VARIAN 3290成為那些需要高質量和可靠的濺射工具來應用的用戶的理想選擇。編程的易用性和高達120 µm/min的快速濺射速率進一步增加了它的吸引力。歸根結底,對於任何需要先進薄膜沈積的研發項目來說,3290是一種折舊但寶貴的資產。
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