二手 VARIAN 3290 #9398805 待售

VARIAN 3290濺射設備是一種多功能、高性能的沈積系統，設計用於廣泛的物理氣相沈積（PVD）應用。該單元提供了對沈積速率和工藝參數的精確控制，快速沈積速率和大型樣品的準確均勻性，以及堅固可靠的操作。3290是一個模塊化的PVD機器，有各種附加模塊和組件來支持特定的應用程序或進程。該工具包括大功率濺射槍、射頻或直流電源、監控工藝參數的能力，以及最多四個工作室的集成儲物室。這些腔室可以進行傳統的濺射沈積、多目標濺射和雙目標沈積、反應性濺射以及隨著工藝要求的變化而產生的各種附加配置。為了確保更好的均勻性，資產提供了自動均勻性補償（AUC）以提供跨基板的均勻性。該模型還具有高精度溫度控制功能,從室溫到1000°C以上的過程溫度,以及光學和保形膜層的溫度固定功能。VARIAN 3290設計用於在1x10-7 Torr的真空水平下運行高達10 Torr，泵送速度高達每秒30升，符合材料兼容性的最新RoHS標準。該設備由數字步進電動機（DMS）、線性電動機（LM）和開環模擬電動機（AM）的組合供電，提供快速準確的運動控制。為了最大安全，3290包含了集成安全聯鎖系統、外部緊急停止功能、嵌入式控制器等高級安全功能。控制器提供了易於重復的裝置設置，以及根據需要調整濺射參數和沈積參數的能力。VARIAN 3290是一款用途廣泛、可靠的PVD機器，可用於制造多種層狀材料，包括金屬、合金、氧化物和電介質。該工具非常適合在微電子、光電子、航空航天和國防、汽車和工業用途等領域的應用。該資產專為易於維護而設計,可進行升級以提高性能和增強過程控制功能。