二手 VARIAN 3290ST #293628007 待售

VARIAN 3290ST是一種堅固、高性能的濺射設備，設計用於將高質量的薄膜沈積到基板上。利用創新的雙磁控管原理，創建了一個均勻、高度可控的沈積過程。這允許將各種不同的材料（包括導電材料、絕緣材料和磁性材料）沈積到不同形狀、大小和組成的基板上。VARIAN 3290 ST由腔室和真空控制沈積頭組成。腔室是密封的，包括一個低阻抗磁控管和兩組三極管電極。為保持其真空水平，包括渦輪分子泵。磁控管提供均勻的濺射場，並允許可控的沈積速率。它還有一個可調的過程氣體控制系統，以確保最佳的膜質量的最佳環境。沈積頭由兩組線圈組成，產生磁場。第一組線圈用於對基板施加等離子體功率脈沖，而第二組則用於產生均勻的濺射場。濺射場能夠在基板表面上產生均勻的能量分布，產生較高的沈積速率和明確的薄膜質量。該裝置設計用於處理真空和大氣壓過程。其製程氣體控制機允許調節不同的氣體流量，以及壓力、比率、偏置電壓和溫度。3290ST還配備了先進的控制工具，可確保最佳的過程控制和可重復性。3290 ST是一種可靠且經濟實惠的濺射資產，非常適合打造高品質的薄膜。其先進的設計提供了增強的膠片質量和過程控制，以及較長的使用壽命。它具有高性能,非常適合汽車、航空航天、光學和半導體行業的應用。