二手 VARIAN 600 GLC #9253624 待售

VARIAN 600 GLC濺射設備是一種用於薄膜沈積系統的PVD沈積工具.它專為濺射、蒸發、化學氣相沈積（CVD）、反應性離子蝕刻（RIE）等高速率、高質量沈積過程而設計。該系統利用矽片、石英板等多種基材進行濺射沈積。600 GLC是一種先進的濺射沈積工具，具有多種功能以增強其功能。它采用雙室設計，帶有裝卸室，允許有效的基板轉移，而不會使基板受到過度汙染。腔室溫度也是可調的，允許在沈積過程中進行廣泛的溫度控制。該單元還具有廣泛的工藝參數，包括濺射速率、目標功率水平、射頻頻率和沈積速率。該機還包括一個大功率磁控管源，這是理想的金屬和其他材料具有高導電性。磁控管源為濺射沈積提供了更高的功率密度，從而產生了更高的沈積速率和更大的沈積過程控制。該工具還具有氣體註入選項，用於控制CVD工藝中使用的反應物濃度。VARIAN 600 GLC是一種極可靠的資產，具有高質量的設計，並已在業界證明自己是高質量、高速率沈積過程沈積的寶貴工具。它能夠為工業和研究應用執行過程，並且經常在制造和研發實驗室中發現。該模型在薄膜沈積中具有多功能性，可用於沈積各種材料，從金屬到絕緣體。此外，600 GLC可用於多種實驗過程，包括高溫退火和快速熱處理。該設備還在濺射等過程中提供了極好的精度和可重復性，從而能夠精確控制薄膜。