二手 VARIAN E40000991 #9126497 待售

VARIAN E40000991濺射設備是一種高度先進、精確的濺射系統，旨在生產附著力優越、層厚精確的高性能薄膜。它將精確、低壓的陰極電弧源與先進的直流和脈沖功率控制功能結合在一起，使其能夠在寬廣的溫度範圍內創造出具有高質量沈積性能的目標材料。這使得它非常適合需要精確、精確薄膜層生產的應用。E40000991濺射裝置由源室、目標物料源、真空室和各種機器控制硬件組成。源室由陰極電弧源組成，利用節能的電弧放電在真空室中產生高壓電弧。電弧可以提供一個高溫、低壓的環境，能夠產生薄膜沈積。真空室容納陰極電弧源和目標物料源，可進行精確的厚度控制和絕對沈積控制。VARIAN E40000991工具中的電源能夠提供高達2000 W的直流或脈沖電源。此功能使其能夠有效地覆蓋各種材料,如晶片、SiO2和其他氧化物,而不會形成一個顯著的散熱器,從而簡化沈積過程。再者，它可以與多種不能用傳統濺射系統沈積的目標材料，如多層薄膜一起使用。此外，濺射資產還包括一個精密的控制模型，用於確保精確的沈積控制和調節工藝溫度。該控制設備利用強大的自適應自動調諧算法，通過補償真空室溫度和壓力的變化來維持最佳的薄膜沈積。此外，系統還包括對沈積膜厚度和糾錯的高級監測。總體而言，E40000991濺射裝置是一種先進的、精確的濺射機器，旨在提供溫度和壓力範圍廣泛的高質量薄膜材料。其智能控制工具允許精確的沈積控制，多種目標材料，並減少薄膜生產所需的時間。這使得它成為要求最高精度的應用程序的理想選擇。