二手 VARIAN E47000454 #9126496 待售

VARIAN E47000454是為一般沈積應用而設計的高性能濺射設備。它能夠在各種沈積參數上以高速率將薄膜沈積在基板上。該系統使用感應耦合的氙等離子體源，產生高度均勻且可再現的濺射膜。它具有直徑7英寸、位置4的旋轉濺射目標，允許多種材料濺射。該裝置的專用射頻驅動濺射離子源提供了一種有效的方法來在基板上沈積各種成分的薄膜。E47000454濺射機有一個大的4英寸濺射室，帶有一個高流量氣體控制工具，可以精確控制薄膜的物理參數。它還具有溫度控制的基板加熱板，用於膜在不同溫度下的保形沈積。該資產與各種各樣的真空測量裝置兼容，使用戶能夠測量濺射室內的壓力。該模型有一個可編程邏輯控制器（PLC），方便設備的控制，允許精確和均勻的沈積和材料使用。VARIAN E47000454具有堅固、節能的電源,最大沈積速率可達5nm/min,而特殊的感應耦合濺射源可確保整個基板上的沈積物均勻。此外，它還具有直流濺射的直流電源，可以沈積低腐蝕特性的薄膜。該系統的另一個優點是通過集成軟件控制過程參數。該控制單元可以復制先前的實驗並實現可重復的沈積結果。E47000454濺射機具有良好的均勻性、高沈積率和多功能性。它非常適合各種行業，包括半導體、數據存儲、太陽能、醫療和航空航天。它具有眾多的優點，是薄膜沈積的一個極好的、具有成本效益的解決方案。