二手 VARIAN / INTEVAC MDP-1100 #293596074 待售

VARIAN/INTEVAC MDP-1100濺射設備在顯示器、半導體和光電器件等多種應用中被廣泛用於薄膜沈積。該系統是一種通用工具，能夠利用廣泛的沈積參數沈積各種材料，包括金屬、無機絕緣體和氧化物。該單元由幾個部件組成，主要部件為射頻電源、腔室、濺射陰極、真空機、電源。射頻電源用於在腔室中創建和維護低頻等離子體。然後用這種低頻等離子體將目標材料從濺射陰極上有效濺射到基板上，形成所需的薄膜。等離子體是通過控制負直流電壓和正直流電壓而產生的，這兩種電壓調制斷開濺射材料所需的能量。腔室由一個底座、一個鐘形罐和一組閥門組成。底座允許工具操作，同時保持腔室內的受控環境。鐘形罐通常由低電導率鋁制成，能夠保持要濺射的材料，而不受環境的任何幹擾。此外，閥門可用於引入、提取或回收各種材料進行濺射和拍攝。濺射陰極由作為目標支架的目標材料的相對形狀組成，可以安裝在基座上，也可以安裝在旋轉式濺射資產中。它由目標材料和磁控管的支撐結構組成。磁控管有助於產生濺射過程所需的等離子體。真空模型用於保持室內的適當壓力。它由幾個部件組成，如粗加工泵、渦輪泵、冷凍泵和機械泵，用於維持濺射過程所需的真空壓力。電源向射頻電源和設備的其他組件提供電能。根據濺射過程的要求，可以提供直流或交流電壓。綜上所述，VARIAN MDP-1100是一種功能強大且用途廣泛的濺射系統，能夠沈積各種薄膜。該單元的組件協同工作，以確保最佳濺射結果，使其成為最流行的沈積應用系統之一。