二手 VARIAN / INTEVAC MDP-1100 #9285764 待售

ID: 9285764
Sputtering system Controller Multiple cryo pumps and accessories.
VARIAN/INTEVAC MDP-1100濺射設備是一種先進的薄膜沈積工具,非常適合用於半導體、光學和電子行業。VARIAN MDP-1100利用金屬或陶瓷濺射目標以精確的速率將薄膜沈積在基板上,具有很高的重復性和準確性。這種濺射系統具有雙磁控管和雙炮濺射的低ESD設計,以及300毫米濺射器的可調基板臺,能夠處理多個基板,最多八個獨立的濺射源。對濺射源進行加熱,使其保持恒定、均勻的薄膜沈積速率,並設計了低功率、低排放電源和高頻射頻發電機,以便可靠運行。INTEVAC MDP-1100配備了先進的過程控制單元,允許用戶高精度控制濺射速率和其他參數。雙槍濺射器還具有一個用於實時沈積優化的自動膜厚度監視器(AFTM)。直觀的圖形用戶界面(GUI)為簡化操作和卓越的刀具性能而設計,進一步增強了該機器。MDP-1100濺射資產是水平的,采用模塊化的O形環設計。該型號由升級的真空冷卻風扇提供動力,具有寬敞、符合人體工程學設計的隔熱室和多種跟蹤程序。整個設備與一系列標準的工業部件兼容。VARIAN/INTEVAC MDP-1100是金屬或陶瓷目標連續和批量濺射的可靠平臺。集成組件跟蹤系統和自動化過程控制功能使其成為各種薄膜應用的理想選擇。內置的安全功能可確保用戶在清潔環境中的安全。VARIAN MDP-1100是根據嚴格的ISO認證準則獲得UL批準和制造的。
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