二手 VARIAN M 2000/8 #9083929 待售

VARIAN M 2000/8
製造商
VARIAN
模型
M 2000/8
ID: 9083929
Sputtering system.
VARIAN M 2000/8是一種多用途濺射設備,常用於先進的可變壓力PVD工藝。它是一個緊湊的桌面系統,占用最小的空間,但為高效和精確地沈積各種材料提供了一系列的特點。該單元包括一個C架濺射室,生產多目標能力,一個重型,低維護的高真空泵,以及一個易於使用的材料設置控制器。濺射室包括可編程的靜電卡盤,適用於熱輔助和非熱輔助材料沈積。該機還包括能夠支撐10-5 Torr穩態壓力和10-3 Torr至10-8 Torr可變壓力範圍的先進泵送技術。VARIAN M 2000/8的生產多目標能力使多達8種材料能夠在同一行動中從多達4個單獨的目標沈積。目標持有者可以放置在腔室的任一側,這樣所有目標都能被均勻照亮,這有助於確保所有材料的均勻沈積。該工具還針對高產沈積工藝進行了優化。它可以以高達10 kW的總目標功率運行,並具有內置診斷程序來檢測和解決可能的沈積問題,並優化總沈積速率。此外,資產還包括全面的安全功能,包括防止物料裝卸事故的聯鎖,以及保護操作員安全的動手防護屏蔽。M 2000/8為PVD沈積需求提供了全面可靠的解決方案。它將先進的濺射技術與精確的多目標能力和安全特性相結合,以最大的效率產生高質量、均勻的材料沈積,減少了總加工時間和成本。
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