二手 VARIAN M 2000/8 #9272645 待售

VARIAN M 2000/8
製造商
VARIAN
模型
M 2000/8
ID: 9272645
Sputtering system.
VARIAN M 2000/8濺射設備是一種高性能的角濺射沈積系統,旨在在廣泛的工業和研究挑戰中實現優越的表面質量。VARIAN M 2000/8由最先進的數字驅動8英寸3kW濺射源組成。該源能夠產生工業要求苛刻的工藝所需的高沈積速率。材料在一系列直流和直流脈沖模式下從多達八個目標同時濺射,從而能夠根據每種應用的具體需要,快速和容易地調整沈積速率。該裝置配有先進的端點,在薄膜沈積過程中提供精確的沈積控制。此外,機器的線性運動機動化級允許最多五個基板同時裝入真空室,從而允許多個沈積項目的最大吞吐量。這些階段提供了在加工過程中對基板進行完整而精確的垂直調整。此外,該工具還包括一個兩步疏散資產,既可快速疏散腔室,又可在處理過程中實現最終的精細控制和壓力均勻性。M 2000/8被設計為在沈積過程中提供最高水平的性能,具有一整套先進的數字和模擬控制功能,包括獨立的目標頭控制、預設/手動濺射功率設置以及對每個濺射源的獨立電流和電壓監控。這些功能允許精確控制關鍵工藝參數。該腔室經過精密的設計,能夠在腔室內提供精確的沈積剖面,並設計了一種特殊的鐵磁屏蔽裝置,以確保在操作過程中濺射材料的高度均勻性。這使得濺射時的表面質量更好。此外,高性能腔室設計確保了在沈積過程中保持良好的薄膜,沒有汙染物和不良雜質。為確保其使用壽命,該模型采用了質量最高的材料,其設計可持續多年的不間斷服務。此外,M 2000/8號文件得到了瓦裏亞納航空公司在濺射方面的專門知識的支持,在整個設備使用期間提供了一個全面的技術支持論壇。總體而言,VARIAN M 2000/8是在廣泛的工業和研究應用中實現卓越表面質量和性能的理想濺射系統。
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