二手 VARIAN M2I #293813097 待售

VARIAN M2I是由VARIAN Systems, Inc.制造的高端多軸濺射沈積設備。該系統旨在在金屬、半導體、塑料和陶瓷等多種基板上提供高質量的濺射塗層。VARIAN M2 I單元在三軸機器人平臺中采用間接直流磁控管/弧靶配置。這種配置確保了最佳的工藝精密和先進的塗層濺射沈積能力。該機設有一個封閉的工具濺射沈積室，有一個八英寸的基板級，5-13個武裝機械臂，3個雙尖端，機器人濺射槍，以及8個indigital process controllers。機械臂可以使資產同時濺射復雜和大面積的基板，同時保持一致的層厚度和質量。另外，儀器有一個壓力控制模型，範圍為+/-3 mTorr，以及提供快速脈沖或連續氣體流動的氣體輸入/輸出子系統。M2I的數字PLC單元具有先進的過程內控制算法，使設備既包括反應式濺射沈積，也包括純被動濺射沈積。此外，該儀器還有一個集成的三室真空子系統，有助於確保沈積過程中的高清潔度和低背景氣體壓力。此子系統還可用於需要多種材料的配方。M 2 I提供了廣泛的附加功能,以進一步優化和簡化沈積過程。其中包括一個可編程的目標加熱器，可用於將目標加熱到所需的濺射溫度，以及一個實時的過程監視器，實時顯示各種濺射參數。VARIAN M2I是一種先進的多軸濺射沈積系統，旨在在金屬、半導體、塑料、陶瓷等多種基板上提供高質量的濺射塗層。該單元以八英寸基板級、5-13武裝機械臂、三把雙尖、機械濺射槍和壓力控制機為特色。此外，該儀器還有一個數字PLC單元，具有先進的過程內控制算法，以及一個三室真空子系統，可確保最佳的清潔度和低背景氣體壓力。最後，VARIAN M2 I具有可編程的目標加熱器和實時過程監測功能，以進一步提高工藝的復雜性和塗層的濺射沈積能力。