二手 VARIAN M2I #9272644 待售

VARIAN M2I是一種多功能離子植入器和監控器，設計用於高效可靠的晶圓離子植入。該設備能夠在幾乎沒有人為交互的情況下更改整個晶片集。它非常適合生產具有各種類型植入過程的設備。VARIAN M 2 I的束參數允許電子束和離子束加速到多種能量，允許電荷狀態轉換和在多種條件下植入。非常適合用於大規模生產。M2I具有快速靈活的光束結構,能夠進行自適應離子植入.設備配備了自動監控和診斷系統，以確保設備保持在特定參數之內。這臺機器監視從加速器到波束線的所有組件。它還能夠自動控制和對準橫梁,以實現最佳的植入.M 2 I包含一個內部實時數據采集工具,允許進行電子、熱和動態過程控制。這確保了可重復和可靠的植入，為特定的材料和結構創造了一個強大的過程。其他組件包括用於離子生成的射頻等離子體源和用於優化光束收集的可變孔徑資產。該模型的計算機控制部件具有高度精確的位置控制能力。這包括快速掃描具有小光束大小變化的大區域。VARIAN M2I還具有可編程的控制和硬件功能，以提供最大的靈活性，並為精確植入提供廣泛的設置。設備的自動自我校準和診斷系統允許優化性能。它允許在出現任何問題之前進行預防性維護,從而有助於檢查是否正常運行並減少停機時間。為了確保可靠和可重復生產,VARIAN M2 I包括幾個系統。其中包括一個統計配方優化單元，它允許快速、準確的啟動和關閉以及快速的循環配方更改。其他系統如自動植入深度跟蹤機和自動錯配控制工具最大限度地提高效率。M2I是高效、可靠、可重復離子植入的行業領導者。其快速靈活的光束配置和先進的監控系統保證了可靠的生產。憑借其眾多的組件和系統,M 2 I提供了無與倫比的效率、工作效率和可重復性。