二手 VARIAN / NOVELLUS M2i #9146577 待售

VARIAN/NOVELLUS M2i濺射設備是最通用的沈積工具之一。它是一個多技術平臺，具有全自動的現場監控能力。VARIAN M2i裝有兩個或四個平面陰極,能夠在25 MHz時提供高達100瓦的功率,在250 MHz時提供1000瓦的功率。適用於多種材料，包括金屬、合金、氧化物和硫屬化物。NOVELLUS M2i是一種多技術工具，具有射頻和直流磁控管濺射，以及反應性離子蝕刻（RIE）和先進的基板旋轉。這些技術可用於各種組合和工藝，以便能夠沈積先進的復雜材料。該系統還具有高功率高速MESA直流濺射源，集成到同一個真空室中。這個集成平臺允許不同來源的不同材料同時濺射，以及濺射源之間的快速切換。與濺射裝置一起使用M2i先進控制和監測系統可以完全自動化，以確保達到所需的特性。這一點通過現場監測能力得到進一步加強，這種監測能力可以實時測量厚度、成分和電性能。此外,VARIAN/NOVELLUS M2i包括一個專利的多參數控制功能,該功能允許同時監視多個濺射源,從而實現卓越的過程管理和優化。VARIAN M2i還包括一些附加功能,使其成為高級研究的理想工具。其中包括：一個用於蝕刻的反應性室、一個原位表面診斷機、一個溫度範圍很廣的大樣本室，以及一些其他功能，使先進材料能夠定制沈積。NOVELLUS M2i集成了材料沈積和自動控制系統,為復雜材料的精密沈積提供了解決方案。