二手 VARIAN / NOVELLUS M2i #9153571 待售

VARIAN/NOVELLUS M2i是一種最先進的沈積工具，利用物理氣相沈積（PVD）濺射技術將薄膜沈積在基板上。VARIAN M2i具有雙炮塔架構，允許用戶在外盾、頂盾和底盾以及基板濺射過程之間快速切換。該系統能夠制造高質量、高性能、顆粒汙染最小化和與工藝相關的基板加熱的塗層。該系統由兩個獨立控制的炮塔和兩個獨立的電源組成。炮塔能夠在三個獨立的過程之間切換，包括外盾濺射、上下盾濺射和基板濺射。外屏蔽工藝利用具有最大400W功率的平行板射頻源濺射基板外周，並對基板進行熱屏蔽，使其免受加工產品的影響。這個過程有助於在沈積過程中最小化顆粒汙染和基板加熱。頂部和底部屏蔽進程利用另外兩個射頻源,每個源提供最大400W功率。這些源相對於底物呈一定角度定向，使離子遠離底物，在離子碰撞區域保持較高的工藝溫度。此外，頂部和底部的屏蔽作為一個額外的熱屏障，並允許沈積材料慢慢覆蓋基板的表面。最後，基板濺射工藝使用600W最大功率的直流電（DC）源將材料直接濺射到基板上。這一過程有助於確保沈積均勻的薄膜，並確保沈積過程高效。總體而言，NOVELLUS M2i是一種用途極為廣泛的濺射系統，能夠制造高質量、精密的塗層，且底物損壞和顆粒汙染最小。這種高效的PVD工藝非常適合廣泛的薄膜應用，包括磁性記錄介質、硬質塗層和光學膜。