二手 VARIAN Power rack for 3190 & 3180 #9237471 待售

3190&3180的VARIAN Power機架是用於生產復合半導體的薄膜技術的先進濺射設備。它是生產過程中必不可少的一部分，因為它確保了高效、準確和穩定的沈積速率，同時消除了由顆粒汙染引起的可變性。Power Rack的設計目的是通過使用混合負載鎖定室最大程度地降低運行成本和維護要求,該室允許以比傳統系統快得多的速度完成高質量的薄膜沈積。這樣可以加快生產率,提高整體效率。電源機架具有位於中央的精密控制電源,可手動調節每個濺射室的電壓高達1KV。此外，3190&3180可以通過允許每個參數的可編程設定點和基於計時器的目標功率水平控制的計算機化系統進行嚴格控制。模塊包括操作員友好的圖形用戶界面，對腔室參數進行監控操作，提供均勻、精確的材料濺射，傳遞精確的厚度，消除顆粒汙染。直觀的圖形用戶界面也使用戶能夠控制源旋轉的水平和垂直位置，以增加膠片的均勻性。Power Rack有四個陰極，可以單獨操作，在濺射過程中靶向特定的離子。Source-2F,4Fand8F系統允許操作根據手頭作業的要求選擇不同的離子源組合。8F單元提供了廣泛的濺射壓力，可以使用圖形用戶界面進行調整。為了增強便利，機器配備了一臺計算機，從計算機終端監控和操作工具。完整的設置還包括可選的濺射槍和濺射電源機架,以提高濺射操作的靈活性和控制力。所有部件都是高度可靠的,並以最高的質量標準進行組裝。3190和3180的電源機架是一種最先進的濺射資產,旨在簡化薄膜沈積過程,同時減少與維護活動相關的停機時間和費用。其直觀的用戶界面能夠實現精確的參數監控、目標材料的高效電離以及優化的薄膜均勻性，從而獲得更高質量的成品。