二手 VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9083530 待售

VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730是一種緊湊而強大的濺射設備，非常適合薄膜沈積。該系統是完全自動化與濺射源，基板和目標組件，無菌陰極傳輸裝置。濺射源組件具有增強的蒸發器磁濺射源，具有直流和射頻磁濺射能力。目標和基板組件包括一個線性平移級,裝有圓形或矩形濺射目標,以及一個可旋轉的基板支架,便於裝載和卸載基板。無菌陰極傳輸裝置旨在確保清潔和可重復的基板在廣泛的溫度範圍內傳輸，包括離子源和靜電快門，以防止有害的顆粒汙染。TEL MB2-730可以達到低至10毫升的工作壓力,並且可以容納直徑不超過24英寸的基板。它還具有一個溫度控制的基板支架，以保持穩定的基板溫度，以及為增加安全性，一個氙氣回填和快門。該裝置設計易於使用和可靠，經過優化，可提供各種薄膜的均勻沈積，包括金屬、電介質、導體和半導體。VARIAN MB2-730是一種功能強大、用途廣泛的濺射機,非常適合薄膜沈積應用.