二手 VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9100777 待售
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ID: 9100777
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
WSIX CVD System, 8"
(3) Chamber (L/R/C) System
DCS-WSIX Process specification
(2) Chambers
(2) Loadlocks
(2) Cassettes
(2) MKS Baratron
Water pressure: 5 kg fc m2
Water flow: 33 litre / min
Water temperature: 15-25° C
General exhaust volume: 3.2 m3 / min
With touch panel display
Monitor
Keyboard
Mouse
Turbo pump and dry pump
Gas: WF6 5 SCCM, DCS 500 SCCM, (2) Ar 200 SCCM, Ar 100 SCCM, ClF3 500 SCCM
Power supply: AC 208 V, 150 Hz, 3 Phase, 100 kVA
1997 vintage.
VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730是為薄膜和塗層的可靠沈積而設計的濺射設備。該系統采用集成操作面板（OP）,可輕松調整設置、方便數據采集和配方開發。TEL MB2-730具有獨特的Magnetron-Quad配置,使設備能夠從單個源創建四個濺射弧,從而實現快速高效的薄膜沈積。每個濺射電弧用於沈積不同的材料，機器能夠同時進行多層沈積。電磁線圈可以精確調整，以控制施加電離的精確程度。VARIAN MB2-730的腔室采用空氣凈化和裝置冷卻技術密封。這樣可以確保汙染物水平保持在最低水平，並且在沈積過程中可以保持較低的底物溫度。因此，我們用這種工具生產的薄膜質量非常高。TOKYO ELECTRON MB2-730內部的源包括磁控管濺射源、離子源和電子槍源。所有的光源都安裝在一個可旋轉的舞臺上，以便於進入，每個光源都有可調節的功率水平，以精確控制薄膜沈積速率。此外，MB2-730還配備了石英監測儀，可以檢測室內是否存在二氧化矽鹽。VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730還配備了多種安全功能來保護設備和用戶。有緊急STOP開關，以及氣體隔離資產、射頻屏蔽和水循環熱交換器。該型號還配備了聯鎖設備，在發生緊急情況時會關閉系統。總體而言，TEL MB2-730是生產可靠優質薄膜和塗料的強大濺射裝置。它的Magnetron-Quad配置和可調節的功率水平允許精確控制，集成的操作面板和強大的安全功能保證了用戶的安全和設備的完整性。
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