二手 VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MB2-830 #67592 待售

VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-830是一種用於薄膜研究和生產的濺射設備。這種通用的系統是為大小零件設計的。它采用磁控管濺射技術，比其他沈積方法具有更高的沈積速率、效率和均勻性。它基於TEL的MB平臺，具有高熱保護、長壽命和快速周轉時間。TEL MB2-830有大量可配置組件,可為用戶的應用程序創建最合適的濺射單元。這些部件包括基板和磁化器、磁控管位置組件、平面線圈和惰性氣體大氣。這些元件有各種尺寸和形狀,能夠有效地濺射大型零件。機器通過電源和控制器運行，使用1至50 kHz的振蕩頻率和可配置的濺射氣流能力。功率水平可在20至500 W之間調節。其冷卻孔徑是密封的,可防止濺射操作過程中的任何汙染。對於均勻薄膜沈積，VARIAN MB2-830采用多空間均勻監測工具。該資產使用位置傳感器和光電池探測器來實現精確的均勻性測量。它還具有用於旋轉大樣本的橫向掃描能力，允許較大的均勻性場。MB2-830可以在從低壓、低壓、中壓到高壓的各種真空模式下操作。其工作溫度範圍從室溫到有加熱能力的800°C。此外,該型號還符合I類或II類環境要求。為保證最佳循環性能，TOKYO ELECTRON MB2-830配備了先進的直列式清洗系統和智能氣體監測設備。這些系統提供連續、安全和一致的部件清潔以及準確的氣體監測水平。總體而言，強大多用途的VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-830濺射系統提供了方便、可靠和高效的濺射操作手段。它提供了廣泛的可配置組件和許多高級功能，以保證最高質量的薄膜沈積。此外，還確保最大限度的安全和遵守適用的工業法規。