二手 VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MBB #293600880 待售

ID: 293600880
Sputtering system 1994 vintage.
TEL (VARIAN/VARTOKYO ELECTRON) VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MBB (Magnetron Sputter Deposition Equipment)是一種高性能、計算機控制的濺射沈積系統,用於在玻璃、金屬、塑料等多種基板上沈積薄膜。該單元設計用於沈積金屬、半導體和其他精度最高的材料,該機器由電磁加速濺射源、真空室和控制臺組成。濺射源具有特殊的磁控管設計,確保塗層沈積速率均勻,滿足半導體芯片組的均勻性要求。此外,濺射源設計用於沈積金屬、半導體等材料,精度最高。該工具還具有單一的頭部閉環設計,以實現完美的塗層覆蓋。真空室配有溫度控制資產,確保工藝溫度穩定均勻,提供更好的工藝控制和改進基板制備。該模型還包括一個氣體流量控制設備,以提供最佳的濺射氣體供應,以及一個氣體凈化系統,以去除從單元腐蝕性氣體。控制臺交互性很強,允許用戶輕松地監控和控制濺射過程。通過使用圖形用戶界面,操作員可以監控和調整壓力、塗層材料、目標溫度、功率和濺射等工藝參數。VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON/VARTEL MBB濺射沈澱機設計用於生產和研究環境。其先進的特性使其成為在任何基板上沈積薄膜的理想選擇,從研發應用中的細膩玻璃基板到工業用途的大型基板。其獨特的磁控管設計確保了均勻的沈積速率,提供了卓越的覆蓋範圍,並確保了一個一致的金屬膜。此外,它的溫度控制工具確保了一個可重復、準確和穩定的沈積過程。該資產操作簡單,性能一致,是薄膜沈積的理想選擇。
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