二手 VARIAN XM-2000 #13670 待售
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ID: 13670
優質的: 2002
PVD System
(4) Target positions
Cryo pumped main chamber
Turbo pumped load locks
Cassette to cassette
Operating system: Windows
2002 vintage.
VARIAN XM-2000是一種高性能濺射設備，旨在為用戶提供他們在產品中達到最佳性能所需的統一沈積。VARIAN XM 2000構建在一個高度可靠、堅固且穩定的平臺上,在實驗室和生產環境中均提供一致的濺射效果,使其成為可靠性和性能的理想選擇。該系統結合了最新技術，包括最新的PVD工藝室設計和先進的濺射源，以優化材料的物理和化學特性，以實現最佳的用戶性能。XM-2000單元的設計符合薄膜沈積的最高要求。在其核心，機器本身配備了雙動磁控管濺射工具。這種濺射資產允許多種復雜的沈積過程，包括多層沈積、低壓聚氯乙烯（LPPD）和大面積塗層。此外,高級濺射源還具有提供高功率密度、高吞吐量和低成本操作的功能。該模型還提供了可調的濺射參數，使用戶可以輕松調節沈積速率、濺射壓力和基板溫度，從而對沈積過程進行終極控制。XM 2000包括高效真空設備，配有高性能粗加工泵、機械泵、渦輪泵和油擴散泵。這種多真空系統提供了清潔、高效的工作環境，這對於生產最優質的薄膜至關重要。該單元配備了多種先進的監控功能，包括腔室壓力、溫度和泄漏檢測，以及一臺隨時間推移記錄濺射參數的數據記錄機。受監測的室內條件使使用者能夠準確監測和衡量其結果，使他們能夠就其沈積過程作出知情的決定。VARIAN XM-2000濺射工具也很容易使用，具有用戶友好的圖形界面。這樣就可以快速、輕松地設置和優化濺射資產,而且各種自動化實用程序可以更輕松地排除可能出現的任何問題。此外,該模型還具有自動安全功能,包括接地和聯鎖,以及緊急關閉（EPO）設備,以保護操作員和系統本身。VARIAN XM 2000具有所有這些特性,是生產均勻、高性能薄膜的理想濺射裝置。
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