二手 VARIAN XM 90 #9005924 待售

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製造商
VARIAN
模型
XM 90
ID: 9005924
Sputtering system.
VARIAN XM 90是專門為航空航天、工業和醫療相關應用開發和生產塗料而設計的濺射設備。使用高能金屬、混合金屬和非金屬目標材料以及一系列濺射條件,工藝工程師可以生產出各種具有精確均勻性和質量的塗層。VARIAN XM90提供四種五極管裝置,可用於濺射、電離濺射和離子輔助濺射等底物的梯度塗層。該系統包括一條數字控制的氣體管線,允許過程操作員在低壓下運行時快速、突然地改變氣體壓力,從而確保可重復的過程。設計了一個集成的陶瓷目標定位單元,以確保瞄準區域在基板上的精度。該機器包括用於防止基板損壞的安全電路,以及用於快速識別和解決問題的錯誤報告能力。XM 90裝有緊湊的Reaction Chamber,讓製程工程師以最小的占地面積開發高品質的塗層。一個獨特的反射面板將腔室內部與外部能源隔離開來,同時還有一個安全聯鎖裝置,如果腔室門沒有牢固地鎖定,它將關閉向工具供應的過程氣體。XM90還配備了帶有Modbus Interface的遠程操作控制臺,允許流程操作員開發流程,並從辦公桌遠程監視流程。它還具有「靈活的流程調度」功能,使各種類型的配方能夠按順序異步運行。該資產還提供審計和報告功能,使流程工程師能夠查看以前的流程、評估和評估當前流程,並消除流程的可變性。VARIAN XM 90專為高批量生產優質塗層材料而設計,為各種塗層應用提供可重復可靠的工藝參數。這種濺射模型非常適合航空航天、工業和醫療應用,可幫助工藝工程師快速高效地開發高質量的塗層。
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