二手 VCR GROUP TM200S #9377152 待售
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VCR GROUP TM200S濺射設備是一種最先進的真空沈積工具,旨在為半導體沈積提供可靠高效的解決方案。這種濺射系統由先進的渦輪分子泵送單元、多面離子束槍和高壓處理室組成。TM200S是一種多技術機器,可用於磁控管或離子束濺射。VCR GROUP TM200S濺射工具的高壓加工室設有兩個安裝部件的支撐桿和一個噴嘴,可用於濺射沈積或離子噴槍過程。腔室還配有兩個不銹鋼格柵,一個用於目標,一個用於基板支架。這樣可以在防止汙染的同時進行平穩和一致的沈積。腔室內的氣體分散器有助於將過程氣體均勻地分布在整個腔室中,從而確保最佳噴塗過程。除了主加工室外,TM200S資產還配有多面離子束槍。這種離子槍由兩件式陽極和陰極室組成,高度可調。可調高度允許迎角和離子束強度的變化。這樣可以精確修改最終層的厚度和組成。濺射沈積過程與離子束槍發生在同一腔室中,由渦輪分子泵送模型驅動。抽水設備功能強大,可產生高達10-9 Torr的真空,並有助於保持精確沈積薄膜的最佳環境。系統還有一個數字控制器,提供濺射過程所需的確切功率和壓力水平。VCR GROUP TM200S是一種尖端濺射裝置,具有精確可靠的薄膜沈積能力。其先進的特性包括快速泵機、可調離子束槍和數字控制器,為生產過程提供了終極控制,有助於確保生產出質量最高的產品。
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