二手 VEECO (2) Doors for Spector #9229856 待售
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ID: 9229856
VEECO （2） Doors for Spector是一種濺射設備，設計用於用一層薄薄的材料塗覆各種表面。它主要用於將金屬、電介質和其他化合物等多種材料沈積到各種基材上。該系統是為高精度和優越的層質量而設計的.該單位由兩個主要組成部分組成；該工藝室和高頻射頻電容耦合電源。加工室包含三個內部「門」，一個位於底部，一個位於中心，一個位於頂部。這些門用於裝載和卸載基板，在真空處理室中操縱大氣，更換準備介質和裝卸沈積部件。底部的門用於引入樣品基板，一個轉移機器人將其運送到中心門。中門專門用於沈積預處理，頂門用於引入沈積元件。高頻射頻電容耦合電源負責激活濺射過程。它可以用來控制功率水平，能夠產生高功率來實現所需的濺射過程。這臺機器還允許在沈積過程中進行微調，以確保所得基板的質量。VEECO （2） Doors for Spector工具是一種高度通用和高效的濺射設備,可在各種基板上提供精確的材料塗層。它非常適合生產任何所需成分的薄沈積層，包括金屬、電介質和各種其他化合物。該模型由允許用戶輕松配置濺射過程參數的軟件應用程序控制。此外，使用三個內門可以快速和方便地更換基板或沈積材料，而無需重新配置整個設備。
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