二手 VEECO CVC #9307857 待售

VEECO CVC是一種高性能濺射設備，用於薄膜沈積在大型基板上。這類系統可用於多種應用，如半導體、薄膜光學、醫療設備等。該單元建立在VEECO先進的沈積和腔室設計概念之上。CVC由三個主要組件組成：濺射源、腔室和電子設備。濺射源負責向底物提供高密度的高能離子（離子）通量，然後加熱以蒸發目標材料。這將在基板的表面上創建一層薄膜。源可以配置為直流或脈沖濺射。密室是機器的控制中心.該腔室容納了源、電源、真空泵以及基板。該腔室還包含兩個可以相互連接或隔離的獨立腔室，以允許不同類型的沈積和不同來源的離子通量。電子設備使工具能夠進行編程和監控。電子設備還負責控制氣流、壓力和其他參數。數據采集和控制軟件用於設置參數、監視資產性能和控制模型設置。VEECO CVC能夠在大面積生產精確度和均勻度令人難以置信的薄膜。該設備具有集成的氣流控制器，可精確控制濺射過程。電子設備允許嚴格控制濺射速率和工藝氣體流動。雙室系統允許目標材料的高厚度均勻性和選擇性。CVC是沈積薄膜的強大工具。它的多功能性和強大的特性使其成為需要精確和統一的各種應用程序的絕佳選擇。VEECO CVC憑借其先進的腔室設計、集成的電子設備和可靠的濺射源，是一種可靠、能幹的濺射裝置。