二手 VEECO IBS-2 #9220228 待售

VEECO IBS-2是VEECO制造的一種創新濺射設備。IBS-2利用脈沖直流和動態濺射技術，將金屬或絕緣體的薄膜沈積到基片或物體上，用於各種用途。VEECO IBS-2系統非常適合尺寸為6英寸的底物,可根據要濺射的合金或化合物沈積精確且可重復的薄膜厚度。它使客戶能夠嚴格控制其界面層,並能夠隨著需求的變化調整膜厚度。機組集成脈沖功率單元產生的磁場大大增強了濺射過程。該機還結合了一個中央真空室以保持精確的真空壓力，一個等離子體源，一個強大的碳氫化合物基等離子體發生器，以及一個基板級，可調以容納各類基板。IBS-2提供出色的蝕刻輪廓控制,允許創建精確的光刻圖樣。等離子體源可以容納各種氣體混合物，包括；氙氣、氮氣、氧氣等，每個都可以用來優化濺射速率、薄膜附著力和電阻率。可調整碳氫化合物等離子體發生器，優化濺射膜的性能，提高其與底物的相容性。VEECO IBS-2還利用傳感器技術幫助確保工具在其整個生命周期中保持最佳狀態。它還提供了遠程操作的便利和圖形用戶界面，以協助設置和配置。綜上所述，IBS-2是一種堅固可靠的濺射資產，能夠以傳統濺射技術難以達到的精確度和控制水平將薄膜沈積到基板上。它是尋求各種應用程序所需的最高質量輸出的公司的完美解決方案。