二手 VEECO INSTRUMENTS VCE.PVDI C-2 #9209412 待售

VEECO INSTRUMENTS VCE.PVDI C-2濺射設備是一種可靠、經濟高效的系統,可用於廣泛的應用,使基板塗覆薄膜。該設備采用直流電源,為直流直流（DC）提供可調電壓和電流設置,以實現最佳沈積速率。該機借助位於刀具下部和上部的兩個磁控管濺射源支持單面和雙面濺射，以便覆蓋基板的頂部和底部。基板由靜電夾具固定在適當位置,以便精確放置和均勻沈積.它還具有一個自動炮塔，能夠方便地訪問，容易基板的變化，而不會中斷濺射過程。資產提供多種工藝和配方控制選項，如基板偏置、固定功率以及電流和電壓反饋功能，以精確控制薄膜結構和厚度。它具有廣泛的濺射氣體設置，支持各種沈積類型，如氧化物、氮化物、金屬和電介質。它還提供額外的安全功能，如內置互鎖模型、壓力控制單元和緊急關閉。VCE.PVDI C-2可接受尺寸達150毫米的基板，適用於高達70 mTorr的低壓。定制真空室設計為產生優越的沈積條件，在單泵循環後可達到1 × 10-6 torr的壓力。最後,該設備的高效冷卻器使沈積室和沈積源能夠得到有效的冷卻.總體而言，VEECO INSTRUMENTS VCE.PVDI C-2是一種可靠、經濟高效的濺射系統，旨在為各種應用提供薄膜塗層。它提供了先進的控制選項和工藝設置,以及卓越的壓力和真空能力,使其成為高通量塗覆小型基板的理想選擇。