二手 VEECO / SLOAN Spector #9205193 待售

VEECO/SLOAN Spector是一種濺射設備，是一種物理氣相沈積（PVD）技術，用於將薄膜層沈積到基板表面。它由真空室和濺射槍兩個主要部件組成。真空室是一個密封的、隔離的空間。它被設計用來降低室內的壓力，使原子和分子能夠自由移動並形成氣相。根據要沈積的材料，可以優化真空的不同成分。濺射槍由一個目標組成，即將被沈積的材料、一個原子源、一個電源、一個屏蔽和一個氣體噴射器。靶子通常是由要濺射的材料制成，如銅或鋁，而原子源通常是氣體，如氙氣或氙氣，以促進濺射。電流通過原子源發送，使氣體電離並向目標加速。盾牌保護系統的其他組件，如基板，免受離子的直接轟擊。氣體噴射器向裝置提供額外的氣體，如氮氣，並有助於防止目標過熱。當目標受到高能時，材料的原子從其表面移出。這些原子隨後被推向基板表面，在那裏沈積並形成所需的材料層。沈積膜的厚度可以通過改變濺射槍的功率、氣體的壓力和過程的持續時間來調節。VEECO Spector濺射機用於實現對各種材料的高精度制造，如半導體、金屬、電介質和絕緣體。其高沈積速率和精確度使其廣泛應用於光電、光伏、半導體等應用，是微納米加工和多層薄膜器件生產中的核心部件。