二手 VEECO Spector HBDG #9236498 待售

VEECO Spector HBDG是一種先進的尖端濺射設備，由四個不同的模塊組成。它是一種高性能的濺射系統，旨在制造低缺陷的納米材料和設備。Spector HBDG的四個模塊結合在一起,提供卓越的蝕刻性能,以適應各種材料和工藝。VEECO Spector HBDG的核心是高密度、高通量（HD/HT）模塊，能夠同時進行共濺射和離子銑削。此模塊包含兩個雙磁鐵濺射室、兩個高速電源和一個雙束離子源，使濺射膜在一次運行中最多可達100層。HD/HT模塊還允許順序濺射，可用於在單一、高效的過程中沈積復雜的多層結構。第二個模塊是利用高真空雙磁控管濺射室的低真空頻譜（LV/SP）模塊。該模塊針對非常薄的薄膜濺射進行了優化，對於濺射特殊的薄膜如氧化ha和氮化全新，特別有用。LV/SP模塊還具有改進的光學窗口,可提高吞吐量並提高濺射精度。第三個模塊是低應力濺射（LSST）模塊。本模塊設計用於低應力、高耐磨性層的沈積。高能LSST模塊采用獨特的雙層目標單元，以增加總離子通量，減少顆粒表面汙染。第四個也是最後一個模塊是快速熱退火（RTA）模塊。該模塊能夠同時進行熱處理和濺射,提供了一個二合一的過程,大大縮短了總處理時間。RTA模塊利用高頻發電機在短時間內實現高溫，其專利的三陽極設計確保了層均勻性和附著力的保持。綜上所述，Spector HBDG是一種先進而精確的濺射機，利用四個獨特的模塊，使低缺陷納米材料和器件的高效制造成為可能。該工具能夠進行多層處理、低應力濺射和快速熱退火，以提高材料性能並減少加工時間。