二手 VEECO Spector #293743006 待售

VEECO/DEKTAK Spector是一種強大而精確的濺射設備，用於薄膜沈積。它被用於多種工業系統，從太陽能光伏電池到先進的氣體傳感器系統。在其核心，VEECO Spector由一個大型真空室組成，配有配電系統，以及濺射源、基板支架、屏蔽和泵等。真空裝置設計用於清除室內空氣汙染物，同時為薄膜生長提供精確的環境。配電機允許濺射槍獨立控制，允許薄膜的精確沈積。濺射源由電源、聚焦線圈和磁鐵組成，這些磁鐵用於加速電子，形成一個等離子體。這會產生大量的電離原子，然後可以轟擊底物，沈積所需的材料。改變排放條件和參數將允許不同的材料濺射到基板上。基板架允許對基板的溫度進行精確的控制和監控，以及為薄膜的沈積提供精確的表面。屏蔽在基板表面提供均勻的沈積。最後，腔室用強大的真空泵密封，以保護環境和樣品免受汙染。通過監測工具中的真空水平，可以精確控制沈積過程。總之，DEKTAK Spector是許多行業中用於薄膜沈積的高精度濺射資產。它由真空模型、配電、濺射源、基板支架、屏蔽和泵等組成。這些元素的組合允許薄膜在基板表面的精確、均勻的沈積。