二手 VEECO Spector #9115806 待售

VEECO/DEKTAK Spector是一種用於沈積薄膜的濺射設備。用於半導體、微電子、數據存儲介質、醫療技術、光學、電子、薄膜研究等領域的應用。VEECO Spector是一個PVD（物理氣相沈積）系統。它在真空室中運作，並配有兩個濺射源。它結合了垂直濺射裝置和平面濺射機器兩種機器的特點。平面和垂直源都可以用來沈積不同的材料。DEKTAK Spector還采用多目標模塊化設計，能夠沈積多種材料和廣泛的沈積目標。Spector提供了廣泛的配置，並且可以擴展到包括多個目標持有者和樣本持有者。它可以以任意順序沈積多層薄膜，並在一次運行中都有多個材料目標。該工具具有較大的（43.3英寸）工作區域，可沈積多達11英寸的晶片或基板。腔室溫度維持在25至40°C。它配備了八通道源冷卻資產，以更好地控制過程。使用VEECO/DEKTAK Spector，用戶可以沈積多種材料，如金屬、合金、復合材料、氧化物、電介質和帶有氧化物覆蓋層的金屬。該模型容量大，具有良好的沈積速率和均勻性。它也非常適合用於薄膜應用的高速生產。VEECO Spector的設計考慮了過程控制，自動化了復雜的沈積任務，以確保即使在高運行速度下薄膜沈積的均勻性和可重復性。設備範圍的用戶界面軟件允許工程師或技術人員控制所有參數、查看流程數據和生成報告。其數據庫復印機功能有助於在長期運行和作業過程中保持設置信息完整,並易於訪問多個基板和目標信息。DEKTAK Spector是一種精密、均勻的高質量薄膜沈積方法。它能夠處理大型晶片和基材，非常適合大型薄膜生產。Spector具有廣泛的功能和系統範圍的自動化,是實現各行業精密薄膜沈積的理想工具。