二手 VEECO Spector #9394865 待售

VEECO/DEKTAK Spector是一款由VEECO開發的濺射設備，VEECO是一家專門從事精密計量的知名公司。該系統用於制造各種微電子芯片設備，並提供各種根據客戶操作需要量身定制的濺射工具。VEECO Spector單元配有堅固的金屬底座，以確保精確和可重復的性能。其額定工作範圍為10毫升至高於一個大氣層，工作功率為100瓦，提供了廣泛的工藝能力。這臺機器提供了最高級別的過程控制和可靠性。該工具專為薄膜沈積而設計，具有一個主真空室和一個或兩個獨立的濺射頭。它有一個寬闊的平臺，有單獨的腔室，用於樣品移動、預濺射、後濺射和後處理。此資產還包括預濺射期間溫度控制的選項。該模型提供了面向應用程序的濺射操作以及精確的目標放置。濺射目標被放置在支架中，可以用最小的努力輕松地從一個位置移動到另一個位置。該平臺專為具有緊密沈積控制的可重復濺射性能而設計，可用於多種過程，包括堆叠多層以創建多層膜或用於非標準基板，如大面積工具或高縱橫比結構。DEKTAK Spector的設計考慮了生產力。它有一個模塊化的設計，允許組件很容易被改變或添加到設備中。該系統還包括一個快速抽水的初級真空室，用於快速高效的排氣。另外，濺射頭具有獨特的可轉動和可傾斜設計，以確保目標在沈積低阻力薄膜時的均勻性。最後，Spector是完全自動化的。它包括內置的參數化編程、自動調整功能和警報通知功能，以在過程中向用戶發出任何潛在問題的警報。這個用戶友好的單位徹底改變了芯片制造行業，被世界各地的公司廣泛利用。