二手 VON ARDENNE CF 850S #9300986 待售

VON ARDENNE CF 850S
製造商
VON ARDENNE
模型
CF 850S
ID: 9300986
Sputtering system (2) Cluster systems.
VON ARDENNE CF 850S是一種高性能的濺射設備,旨在提供卓越的塗層沈積工藝。該系統是合一的,有一個用於塗層的腔室,另一個用於退火。該單元包括用於濺射目標的超精確定位機,最大可重復性為+/-0.02mm。這樣就可以在大面積上形成精確的均質沈積物。CF 850S是一種鎖載磁控管濺射工具,適用於提供導電、絕緣、半絕緣薄膜塗層的均勻厚薄膜。它能夠以高達1500 W/in2的速率濺射,均勻度為+/-4%。該資產最多可容納三個真空室,最多可容納九個目標,是多層沈積的理想選擇。該模型還有一個車載濺射控制單元,可以調節氣流、壓力、氣體比、溫度等工藝參數。該設備還具有簡單操作的直觀用戶界面,以及從溫度傳感器和離子計到基板專用負載傳感器和金屬沈積控制等多種安全監控系統。VON ARDENNE CF 850S設計用於清潔環境中的操作,具有密封、隔振以及風冷和水冷的電池板,以確保安全和可靠性。腔室有一個標準的18 「x 18」 x 15「工作區,對於較大的基板有一個~ 40」 x 40 「x 80」的可選足跡。它的設計速度範圍很廣,從幾毫米/秒到2000mm/秒不等。利用這種濺射系統可以以最小的材料和能耗沈積各種薄膜和塗層。這樣可以靈活、經濟高效地生產高質量、均勻的薄膜產品。此外,此單元還提供了一系列選項和功能,以提高靈活性,包括控制工藝參數、壓力剖面和目標到基板的距離。
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