二手 VON ARDENNE CS 850S #9167930 待售
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ID: 9167930
優質的: 2002
Sputtering system
(1) Metal installation ARDENNE:
Control cabinet
(1) HL-Sputteranlage ARDENNE CS850S
2002 vintage.
VON ARDENNE CS 850S是一種用於中大面積薄膜沈積的濺射設備.該系統旨在用均勻、一致的金屬、介電或陶瓷塗層覆蓋基板,並為用戶提供針對其特定應用量身定制的各種濺射工藝。CS 850S由陽極氧化鋁和鋼構成，所有部件都裝在加壓的不銹鋼真空室內。腔室直徑12英寸，長18.5英寸，可短暫疏散至150 mTorr。腔室頂部是蒸發/濺射陰極，直徑9英寸，深3.5英寸，設計可容納多達6個圓形基板同時塗層。室的下部是一個磁控管濺射源，它占用4.5 「x 4.5」的空間，為理想的沈積速率和薄膜質量提供了一個充滿活力的濺射環境。VON ARDENNE CS 850S具有一個主控制器和一個集成的觸摸屏顯示器,用於過程監控和調整。它配有射頻加熱裝置，可使溫度達到500 °C。在控制器上可以修改沈積速率、沈積厚度、均勻性和粗糙度等工藝參數。此外，該機能夠控制高達1 μ m/min的沈積速率，並且可以使用連續模式進行圖樣化沈積。該工具還配備了基板溫度控制器、用於處理多達6個基板的資產以及若幹用於操作和管理的軟件程序。CS 850S設計方便用戶，可供各學科的科學家和工程師快速、一致地存放均勻、優質的薄膜塗層。
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