二手 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #293620674 待售

ACCRETECH/TSK PG 300 RM是一種全自動研磨、研磨和拋光機，設計用於預磨工藝和薄片加工。它是專門為滿足半導體制造的性能和吞吐量要求而設計的。該機一次最多可加工300個直徑2英寸的晶片，在短周期內提供出色的表面平面性和高屈服。TSK PG300RM配備了高精度的空氣軸承主軸，允許控制和精確的研磨。研磨是通過使用主軸的多次旋轉在一個通道中進行的，這樣它就可以研磨每個晶圓的邊緣、中心和外圍區域。這種方法可以產生高表面平面度，降低晶片的經度，在單個晶片之間產生更大的均勻性。機器還有一個獨特的研磨階段，其中均勻的壓力施加在整個表面上的晶圓使用一組不同大小的墊子。這種研磨技術允許比常規方法更平滑的表面,並允許更高的晶圓厚度變化公差。拋光是借助帶鉆石的墊子完成的，它提供了高精度、吸引人的光潔度。這一拋光階段產生了進一步應用所需的必要表面光潔度，如薄片加工和CMP拋光。ACCRETECH PG 300RM還擁有高性能電機和多個傳感器，精確測量晶圓的位置和砂輪、墊片、金剛石墊片之間的接觸壓力。這樣就能夠詳細分析和消除可能降低產量的缺陷。此外，機器還配備了編程的數據輸入接口，允許操作員存儲設置和進程。PG 300RM是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光系統，具有良好的表面平面性，周期時間短，產量高。獨特的研磨和拋光階段允許更大的均勻性和更高的晶圓厚度變化公差,而傳感器和編程的數據輸入接口提供精確的控制和設置,以改進制造。