二手 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #293755522 待售
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ACCRETECH/TSK PG 300 RM是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,專門設計用於操縱和加工矽、石英、藍寶石等半導體和非半導體材料。適用於廣泛的應用,從一般的拋光到極細粒度的精密飾面。TSK PG300RM由一個長平臺和一個電動磁頭組成,該磁頭滑過該平臺,由變速驅動馬達提供動力。該機配備由兩個直線軸和一個旋轉軸組成的三軸級,具有高精度反饋和直接驅動控制的伺服電動機,用於精確定位。在平臺上有一個拋光的鋼箔,用於精確定位晶片。該機器包括一個氣密的玻璃真空罩,有助於最大限度地減少氣流在該區域同時允許接觸晶圓。引擎蓋有一個自動夾緊系統,可以容納不同尺寸的晶片。引擎蓋還包括一個冷卻劑單元,將晶圓的溫度保持在一定範圍內。ACCRETECH PG 300RM還配有觸摸屏操作員界面和直觀的菜單機,引導用戶完成研磨、研磨和拋光過程。它還包括用於自動操作的可編程邏輯控制器(PLC)。雙面磨料圓盤可用於研磨、膝蓋和拋光晶片表面。主軸電機能夠以高達2500 rpm的轉速固定和旋轉圓盤,從而實現精確一致的研磨和拋光。空氣提升工具可以方便地更換或拆卸光盤。為了確保一個一致的光潔度,主軸電機具有一個脈寬調制資產,允許改變電機的速度,同時保持恒定的力在晶圓上。機器既可以手動操作,也可以自動操作,針對每種材料類型和應用自動調整壓力、旋轉方向和速度等參數。它還包括自動厚度測量模型和在達到所需厚度時停止機器的自動停止功能。ACCRETECH PG300RM是一種高度先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,提供精確的控制和一致的飾面。它是一個理想的機器,用於廣泛的應用,從基礎加工到精細拋光。
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