二手 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #293799621 待售
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ACCRETECH/TSK PG 300 RM是一種全自動晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於半導體、LED和光伏行業的工藝。該系統還能滿足客戶的研發和非金屬切割磨削及拋光需求。晶圓研磨、研磨和拋光交換裝置具有鎖載處理和循環鎖止處理功能,可提供靈活的晶圓旋轉機。該工具設計用於多個晶片的窗口處理,每個窗口支持25毫米至200毫米的單個晶片尺寸,以及單個基板上不同類型的圓形、正方形和矩形切口。資產在X、Y和Z方向具有3軸加工能力,在晶圓交換過程中最多可提供6軸移動。晶片盒和托架自動交換,確保了安全可靠的過程。除了晶圓研磨外,該模型還采用各種陶瓷、金剛石和其他類型的磨料進行研磨和拋光。通過使用壓力感測來控制平整度和一致的表面光潔度,保持了很高的精度。該設備配備了易於操作的觸摸屏,允許手動和自動化的過程監控和控制。該系統還包括一個耐用的保護單元,以防止操作過程中不需要的物理接觸,以及一個視覺機器,以自動檢測裂紋和其他缺陷。該過程可以根據用戶需求進一步定制,具有雙向通信、支持控制和維護功能。TSK PG300RM配備了多種行業標準選項,包括3級洗滌和空氣夾緊工藝、圓形處理能力、超大尺寸應用和自動噴嘴清洗。該工具還包括一個專用返回站和一個防水/防塵外殼。總體而言,ACCRETECH PG 300RM是高精度晶圓研磨、研磨和拋光工藝的理想選擇。
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