二手 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #9152292 待售

ACCRETECH/TSK PG 300 RM是為半導體制造而設計的高端晶圓研磨、研磨和拋光系統。這臺機器具有多功能性和高度自動化的磨削工藝，能夠生產出表面光潔度極好的零件。TSK PG300RM配備了9級磨頭,可容納直徑達6.0英寸、厚度達1英寸的基板。磨床頭由多速直驅電動機驅動，能夠提供100至10,000 RPM的轉速。頭部的運動由三軸編碼器直接監控，該編碼器提供關於其研磨作用的反饋，並與伺服馬達耦合。ACCRETECH PG 300RM利用金剛石塗層磨輪實現精磨。提供了一個外部壓力調節器，以提高精度，允許操作員在研磨過程中為研磨頭設置一個維持的特定壓力。該系統還具有自動間隙和手動滑動功能,以確保砂輪不會與基板接觸。該機還包括一個可以容納1英寸最大高度和6.0英寸最大基材直徑的研磨站。研磨站能夠垂直向上移動至902度以調節研磨壓力。研磨站可調節以容納各種基板和尺寸。最後,該系統的特點是具有振動作用的拋光站.這是為了快速準確地拋光基板而設計的。拋光站可容納直徑達6.0英寸、厚度達1英寸的基板。PG 300RM是精密半導體生產不可或缺的工具，提供了高度的精確度和精確度，同時大大降低了生產時間和成本。