二手 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #9183184 待售

ACCRETECH/TSK PG 300 RM是一款最先進的精密晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在提供卓越的質量、一致性和可重復性。該系統經過專門設計，以滿足半導體工業對非常薄、易碎晶片的研磨和搭接拋光的要求。該裝置采用精密晶圓研磨主軸，該主軸配有高速、高扭矩旋轉金剛石車輪，可將晶圓邊緣磨削至3毫秒（75 μ米），具有極高的均勻性和可重復性。采用了一種可調節的兩級晶片送料機構，以確保均勻的送料角度對晶片加工的一致性至關重要。該主軸具有變速交流伺服驅動機，具有最佳研磨、研磨和拋光性能，可提供精度、穩定性和可重復性。此外，該工具包括兩級研磨和拋光配置與旋轉膝板。提供各種圈板,包括軟、中、硬等級,以及匹配的套件,可精確控制拋光過程。旋轉圈板由伺服電機驅動，提供高效、精確的拋光。TSK PG300RM配備了用於晶片裝卸的高性能、計算機控制的真空卡盤。真空卡盤能夠將晶片固定到8英寸方形和12英寸直徑，並具有自動夾緊機構，方便晶片加載。該資產與全半導體兼容，並設有集成粒子計數器，用於實時監測工藝環境。該模型的其他特點包括一個安全外殼，以保護操作員免受灰塵和碎屑的傷害；一個可調鏡照明設備，用於目視監測和驗證已完成的晶圓；一個觸摸屏監視器和鍵盤，便於系統控制/編程；以及動態冷卻，以進行有效的溫度管理。總體而言，ACCRETECH PG 300RM是一個非常精確、可靠和用戶友好的單元，能夠在晶圓研磨、研磨和拋光過程中提供卓越的質量、一致性和可重復性。它是精密微加工的首選機器，是從事集成電路生產人員的理想選擇。