二手 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #9190398 待售

ACCRETECH/TSK PG 300 RM是為半導體工業設計的全自動晶圓研磨、研磨和拋光設備。它專為單面和雙面加工尺寸達300毫米的晶片而設計。該系統能夠對包括Silicon、Sapphire、Quartz和Copper在內的多種不同晶片進行單面研磨和研磨、單面拋光和雙面拋光。TSK PG300RM包括一個有2個工件階段的研磨/研磨臺、一個拋光頭、一個塗有塗層的磨料帶驅動和進料單元、一個有旋轉階段的拋光板、一個拋光頭傾斜控制、一個拋光布附著機和一個拋光介質/液體分散器工具。所有這些組件協同工作以提供完整的自動化晶圓處理解決方案。該資產還具有集成的PC接口,可輕松集成到工廠自動化模型中。ACCRETECH PG 300RM利用最先進的磨料帶驅動裝置和進料設備將磨料帶定位到研磨/研磨臺上。該系統采用皮帶拉緊裝置，在研磨/研磨過程中，保證工件承受均勻的磨料皮帶壓力。工件通過氣動控制單元驅動到皮帶上，確保工件均勻定位在皮帶上。對於單面拋光，PG300RM裝有拋光頭，使用傾斜機構調節拋光表面與工件的角度。這種可調節的角度保證均勻的拋光條件和均勻去除晶圓表面的缺陷。還包括拋光布附著機，使用真空將布片附著在拋光頭上。這種布料附著工具在拋光過程中保證晶圓表面的均勻覆蓋，以獲得最佳的拋光效果。最後,ACCRETECH/TSK PG300RM使用拋光介質/液體分散器資產來控制拋光介質或漿料向工件的分布。該模型利用可調節的介質淋浴來確保拋光介質或漿料在晶圓表面均勻散布。這種均勻的分散確保了均勻的拋光結果，無論晶圓的大小或其缺陷。總體而言,ACCRETECH PG 300 RM是一款功能強大且可靠的自動晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在滿足當今半導體行業的高精度和生產率要求。其先進的研磨帶驅動和進料系統、可調拋光頭、拋光布附著裝置和介質/液體分散器機器確保在各種晶圓尺寸和缺陷上的均勻結果。此工具是晶圓處理應用的理想選擇。