二手 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #9396416 待售
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ID: 9396416
優質的: 2007
Grinder
Grinder stand (NCIG Mounting application)
(9) Wafer recipe functions
Grinder: 5SEP function
RM300 Vaccum generator
RM Stand:
H-4 Stand
Mount stand
Peeling stand
Cleaning unit
Includes:
Vacuum pump
UV Power supply
Slurry unit
Chiller unit
2007 vintage.
ACCRETECHACCRETECH/TSK PG 300 RM是為半導體器件開發的全自動、精密晶圓研磨、研磨和拋光設備，如III-V化合物、mems和離散器件。該系統具有獨特的專有特性-自動再循環晶圓映射Unit™ （ARMS）,可提供卓越的背面晶圓平整度和高通量。TSK PG300RM能夠研磨、研磨和拋光直徑達300 mm的多個晶片。這臺機器利用壓力輥在晶片上施加均勻分布的載荷，從而形成平整、均勻的拋光背面，表面粗糙度最小。對於更具挑戰性的基板和應用,該工具能夠實現低至10 nm邊到邊總厚度變化（ETTV）的平坦度。該資產專為超高速晶片處理而設計,速度高達18,000rpm,精確旋轉控制為+0.00025°。它采用自動配方，允許用戶按照定義的程序保存參數和處理晶圓。它配備了一個裝載站，確保一個以卡盤為中心的安全晶片，減少皺紋和裂紋損壞。它能夠一次處理多達四個晶片，減少研磨、研磨和拋光步驟之間的等待時間。對於更苛刻的應用，ACCRETECH PG 300RM包括七區循環模式，可以進一步減少總循環時間。總體而言，PG300RM是一種先進的自動晶圓研磨、研磨和拋光模型，專為大型基板而設計。該設備提供卓越的表面平整度和卓越的吞吐量,從而提高了III-V復合材料、mems和離散設備的產量和最佳質量。
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