二手 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #9399556 待售

ACCRETECH/TSK PG 300 RM是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，用於半導體晶圓的精確尺寸和粗糙度控制。雙頭系統以4軸臺面同時研磨和拋光直徑從30mm到300 mm的晶片，實現了不預先開槽的高質量水平。該裝置采用沖洗罐，設計用於晶片的全浸入處理，並具有集成的介質充電和化學進料機。這確保了安全的潮濕過程，沒有空氣中的顆粒或汙染。該工具適用於範圍廣泛的晶圓材料，包括矽、砷化​​氙（GaAs）、氮化氙（GaN）、monCrystal矽和氙等。晶圓研磨拋光設備配有交流伺服電機和閉環線性伺服電機驅動系統，以及精密的線性導軌，提供高精度、重復性和可靠性。采用CCD攝像機和激光測線模型,保證了正確的拋光參數.該設備還具有運動控制軟件和數字控制器，可在研磨和拋光頭之間進行切換，並設置工藝參數。TSK PG300RM配備了10英寸觸摸屏顯示器和數據處理PC，使用戶可以監控和控制整個研磨過程。該系統的特點是有一個Overarm Dressing Automation單元，自動檢查和校正磨削條件，以便更好地重復性和提高工藝穩定性。該機還配備了Coolant壓力控制工具，允許精確的磨料懸掛。ACCRETECH PG 300RM易於操作和維護,具有自動晶圓檢測和斷裂確認功能.它還具有成本效益，因為它可用於處理多個晶片，具有高產量率和質量水平。該資產適用於研究和工業應用，適用於各種基材和應用，效果優異。