二手 ACCRETECH / TSK W-GM-4200 #9220489 待售

ACCRETECH/TSK W-GM-4200是一種用於半導體和先進材料行業的高精度晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統旨在以最小的停機時間和最大的精度連續進行晶圓研磨、研磨和拋光過程。TSK WGM 4200被設計為接受多種不同步驟的晶片，如面磨、頂點磨、背磨、CMP、PCMP、Batch Grind和微磨。該裝置還能夠處理金屬塗層晶片以及國產和進口晶片。ACCRETECH W-GM 4200配備了精密的計算機編程控制機器，便於操作，提供實時檢查和優化。此工具提供了一種智能研磨模式,通過連續分析曲面數據和預測可能破壞研磨過程的擾動,減少了對所需曲面完成的等待時間。它還具有自動進料資產,可自動將晶片送入研磨和拋光階段以提高工藝精度,以及可提供多達10個不同研磨/研磨板的一步交換的旋轉臺。模型由四個研磨/研磨站的主基座、每個站的控制器、一個後側研磨站和一個搖床組成。這些研磨/研磨站的設計目的是通過多道和不同的研磨/研磨磨料獲得更好的表面光潔度。ACCRETECH W-GM-4200能夠處理150 ~ 200毫米晶片,達到0.05 µm的平整度或更高,從而獲得優異的表面光潔度。WGM 4200還包括熱板設備、用於提高信號穩定性的高頻發生器（HFCG）,用於精確表面測量的自動輪廓發生器（APG）,以及用於自動研磨和研磨過程的自動聚焦系統（AFS）。HFCG、APG和AFS是檢查晶片在研磨和研磨過程中是否有異常的必要工具。此外，這臺機組還包括一臺安全聯鎖機，確保操作員的安全。總體而言，ACCRETECH/TSK W-GM 4200是晶圓研磨、研磨、拋光的先進工具。它提供高精度的過程,最短的停機時間,出色的表面處理,以及安全的操作。對於需要高精度、高精度工藝的半導體和先進材料行業,此資產是理想的選擇。