二手 ACCRETECH / TSK W-GM-4200B #293596020 待售
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ACCRETECH/TSK W-GM-4200B是一種下一代晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於對基板進行精密的表面調節和減邊至4英寸。它能夠處理8到4000個晶圓的大小批次,在保持盡可能高的質量控制標準的同時,實現高效、經濟高效的表面調節。該系統具有一系列研磨和拋光頭以及獨特的真空冷卻基板夾具,可將基板牢固地固定到位,並確保可重復、均勻的加工。該單元的高度創新設計還包括多種電氣、機電和氣動部件,以保證基材邊緣的穩定、高效、高精度的研磨和拋光。這保證了所有邊緣在嚴格的公差範圍內完成,同時滿足最高的粒子計數、Rq和汙染控制標準。機器可以用手動或數控控制工具操作。CNC控制資產允許精確、可編程的運動,並對研磨速度和方向、圈速和基板放置進行精細控制。此外,該模型還可用於平面和圓柱形研磨和拋光操作。TSK W-GM-4200B還為選購消耗品和配件提供了多種選擇。這些包括金剛石和磨料研磨盤、金剛石和磨料拋光盤、膠體二氧化矽拋光漿、磨料膠帶和薄膜以及金剛石拋光墊。所有消耗品和配件都設計成與設備配合使用,以確保始終保持高質量的表面光潔度。最後,該系統配備了一系列安全功能,確保操作安全可靠。它包括一個互鎖開關,可以在未經用戶同意的情況下防止研磨或拋光頭移動,以及一個可用於在緊急情況下停止裝置的監控緊急停止按鈕。此外,還可以使用反磁預防開關防止涉及金屬物體的事故,而一系列光學和聲學警告信號則提醒使用者註意任何潛在危害。
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