二手 ALLIED TechCut 5 #293770863 待售
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ALLIED TechCut 5是一種高性能晶圓研磨、研磨和拋光系統,旨在生產出表面質量卓越的高精度晶圓,用於半導體行業。它能夠加工頂部表面積高達5.5英寸的晶片,具有高度的摩擦控制,並采用單軸X-Y配置。磨頭采用數字伺服電機驅動變速拋光工藝,最大轉速2000 RPM,速度控制精度0.5%。頭部可以用手動曲柄快速定位,具有0.1 µm的精度水平可重復性。它還配備了一個收集灰塵的系統,以便有效地從工作區清除研磨碎片和其他碎片。研磨模塊配有兩套高性能靜水導軌,能夠精確調節研磨壓力。壓力也是可調節的,使使用者可以靈活地將研磨過程調整為正在處理的晶圓類型。研磨頭還裝有一臺Allen-Bradley數字伺服電機,驅動直徑50-100 mm的大濕拋光板。拋光模組配備精密級拋光頭,精度0.2 µm,重復性0.01 µm。它裝有一個獨立的控制器,可以同步操作磨料頭和平臺進行快速和精確的拋光過程。數字伺服電動機進一步實現了最高500 RPM的變速控制。TechCut 5晶圓研磨、研磨和拋光系統采用了多種功能來確保最高質量的結果,包括精確的速度和壓力控制、高度可靠的研磨/研磨/拋光頭以及出色的除塵功能。堅固耐用的設計使其耐用,出色的性能使其能夠快速處理甚至最復雜的晶片。
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