二手 AMADA SE-52N1 #9395041 待售
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AMADA SE-52N1是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於對從半導體模具到光學玻璃的多種材料進行薄晶圓研磨、研磨和拋光操作。該系統包括兩個獨立的研磨主軸,兩者都安裝在同一個基座上,以達到精確的XY軸位置精度。主軸組件由交流伺服電動機和驅動主軸驅動,可支持高達50,000 RPM的最高速度。輔助主軸可傾斜至20°,可實現精確的研磨/拋光表面。晶片以真空方式與研磨主軸精確對準,夾緊壓力高達60KPa。伺服電機在研磨、研磨、拋光過程中控制主軸的精確運動,而研磨輪和研磨膜分別用於研磨階段和研磨階段。精密研磨/拋光過程在裝有真空密封底座和過濾器的腔室中進行,以確保清潔操作,並確保在處理過程中不會將汙染物吸入腔室。自動進紙器由計算機化控制器控制,使設備能夠快速準確地進行邊緣研磨、徑向研磨和開槽。該機還配備了自動皮帶張緊器,以確保磨料皮帶始終處於最佳張力狀態,從而獲得最佳磨削性能。晶圓取向工具提供了可重復的薄晶圓研磨、研磨和拋光效果。該資產還能夠拋光包括金屬、絕緣體、塑料和復合材料在內的各種基材。總體而言,SE-52N1是一種高度先進的晶圓研磨、研磨和拋光模型,能夠以極高的精度研磨、研磨和拋光多種材料的薄晶圓。該設備具有高度的精確度、可重復性和快速加工晶片的能力,從而提供卓越的性能和生產吞吐量。
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